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Engenharia de filmes finos

Engenharia de filmes finos

Categoria do cursoGraduação

É objetivo desta disciplina fornecer ao discente noções gerais sobre:

  • As etapas de crescimentos de filmes finos usados em dispositivos;
    • Transformação solido/líquido-vapor
    • fenômenos de transporte de massa
    • Nucleação e crescimento de estrutura cristalina
  • Metodologias de deposição de Filmes finos;
  • Metodologias de caracterização de filmes finos.
 
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Professor: Luca Bertoni, Marcia Tsuyama Escote

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